不同襯底三氧化鎢薄膜的形貌

三氧化鎢（WO3）薄膜的結(jié)晶行為易受到制備方法、鍍膜襯底及前驅(qū)體中的添加劑等因素影響。為了研究不同襯底對WO3薄膜造成的結(jié)構(gòu)相變，以FTO導(dǎo)電玻璃、石英玻璃和石墨為襯底采用聚合物前驅(qū)體法分別制備三氧化鎢（WO3）薄膜樣品，圖a~c所示分別為3種襯底的WO3薄膜的FESEM像。

由圖可以看出，在 450℃熱處理條件下，F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃和石英玻璃襯底的薄膜均勻而致密，表面WO3顆粒尺寸分布均一，粒徑均在50nm左右( 見圖a和b)。而以石墨襯底鍍膜的樣品顆粒尺寸較大，為150 nm 左右，大顆粒之間分布著一些粒徑為20 nm左右的小顆粒，薄膜表面多孔且疏松，粗糙度有所增加（見圖c）。

這是因為在粗糙的表面上(石墨) ，各處的吸附能差別較大，因此，在吸附能較高的位置容易形成核，即優(yōu)先核生長，所得到的薄膜多孔洞且疏松；而在較光滑的表面(FTO 導(dǎo)電玻璃和石英玻璃) ，缺陷相對較少，各處的吸附能差異不大，且分布均勻，因此得到的薄膜均勻而致密。