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作者:鎢鉬制品生產(chǎn)商、供應(yīng)商-中鎢在線 文章來源:網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載 更新時間:2015-12-4 17:21:48 |
三氧化鎢陶瓷常壓燒結(jié)
陶瓷常用的燒結(jié)工藝有:常壓燒結(jié)法、氣氛常壓燒結(jié)法、反應(yīng)燒結(jié)法和熱壓燒結(jié)法等。因為三氧化鎢(WO3)在高溫下升華,且容易失氧,為了保證制備的三氧化鎢陶瓷靶材為高密度靶材,采用全程通氧燒結(jié)的方法。
為了達到燒結(jié)過程得到高純度和高密度的三氧化鎢陶瓷靶材,從燒結(jié)方式和承燒板兩方面考慮。采用常壓燒結(jié)的方式,在管式爐中進行全程通氧燒結(jié)。氧氣氣氛可以抑制高溫下氧化鎢的升華以及三氧化鎢的失氧,是制備高密度氧化鎢靶材的重要條件。燒結(jié)過程中,考慮到承燒板與WO3之間也會產(chǎn)生反應(yīng),一方面,適當(dāng)降低燒結(jié)溫度或者選擇更穩(wěn)定的承燒板,另一方面,在燒結(jié)試樣下部鋪一層WO3粗粉,較好的解決了上述問題,從而確保燒結(jié)靶材的高純度。 圖為WO3壓坯的燒結(jié)工藝曲線,具體燒結(jié)工藝為:升溫階段,升溫速率為3.9℃/min;升溫至設(shè)置溫度后保溫2h;降溫階段,在設(shè)定溫度隨爐冷卻至室溫。通過分析可知:當(dāng)壓坯密度在63%以上,且燒結(jié)溫度在1150℃以上時,可以得到超高致密度(相對密度大于99%)的WO3靶材。
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