氧化鎢是一種氣體敏感材料，對(duì)NO2氣體等有毒氣體具有較好的敏感特性和選擇性，因而在NO2氣敏感測(cè)器方面有很好的發(fā)展前景。因?yàn)镹O2氣敏感測(cè)器的應(yīng)用對(duì)環(huán)境保護(hù)和人類健康都有重要意義，所以NO2感測(cè)器一直是國(guó)內(nèi)外研究人員的研究熱點(diǎn)之一。
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根據(jù)文獻(xiàn)記載，早在1995年就有研究人員研究了不同金屬氧化物對(duì)NO2的氣敏性能，最終他們發(fā)現(xiàn)WO3有最好的應(yīng)用前景。1996年，研究人員通過(guò)真空昇華法制得WO3薄膜，並研製出了性能較為穩(wěn)定的NO2氣敏元件。經(jīng)過(guò)多年的探索，現(xiàn)如今，研究人員正在研發(fā)一種可大規(guī)模推廣應(yīng)用的工作溫度較低、靈敏度高、選擇性好的氧化鎢基NO2氣敏元件。
