摻鉬氧化鎢電致變色膜可以通過(guò)磁控濺射製備得到。專家表示，採(cǎi)用磁控濺射法製備Mo摻雜氧化鎢電致變色薄膜時(shí)，可以嘗試使用其他非化學(xué)計(jì)量比的WOx靶材，並進(jìn)一步優(yōu)化濺射參數(shù)，以得到性能更為優(yōu)異的電致變色薄膜。
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
此外，為了使薄膜具有更好地迴圈穩(wěn)定性，可以在濺射時(shí)，對(duì)襯底進(jìn)行加熱，從而消除氧空位。而磁控濺射製備氧化鎳電致變色薄膜時(shí)，可以用摻雜鉻、錳的鎳靶材來(lái)代替高純鎳靶材，以制得摻雜的氧化鎳薄膜，進(jìn)而提升電致變色性能。同樣的，在濺射時(shí)，也可以對(duì)襯底進(jìn)行加熱來(lái)消除氧空位，使薄膜具有更好地迴圈穩(wěn)定性。
