MoO3摻雜氧化鎢電致變色薄膜可以通過直流濺射法、噴塗法以及磁控濺射法與噴塗法的結(jié)合製備得到。其中，有專家對這三種方法製備WO3電致變色膜進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)：
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
1.0 利用直流濺射法製備所得的氧化鎢-氧化鉬複合電致變色薄膜，其氧氬比為3:70時(shí)，電致變色器件的光調(diào)製範(fàn)圍達(dá)到最大，為49.52%。
2.0 利用噴塗法製備的氧化鎢-氧化鉬複合電致變色薄膜，其薄膜變色能力相對較差，儘管成本低、工藝簡單。
3.0 利用磁控濺射法與噴塗法結(jié)合製備所得的氧化鎢氧化鉬複合電致變色薄膜比單一的噴塗法制得的薄膜具有更好地電致變色性能。其中，用先磁控濺射4min再噴塗的電致變色薄膜組裝的器件的光調(diào)製範(fàn)圍最大，可以達(dá)到32.38%，當(dāng)磁控濺射4min時(shí)，此時(shí)得到的薄膜厚度利於陽離子的嵌入與脫出。
