智慧玻璃用氧化鎢薄膜可以經(jīng)由磁控濺射法製備得到。對此,專家表示,當(dāng)氧氬比為某一個值時,電致變色器件的光調(diào)製範(fàn)圍達(dá)到最大。然後,隨著氧分壓的增大,光調(diào)製範(fàn)圍逐漸減小。為什麼氧分壓會影響電致變色器件的光調(diào)製範(fàn)圍?
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因?yàn)檠鹾窟^小時,靶材中的W2.9未能與氧氣完全反應(yīng)生成變色性能好的非理想配比的WOx,導(dǎo)致電極電荷負(fù)載量在變色過程中下降,進(jìn)而造成變色性能較差。反之,當(dāng)氧氣流量過大時,磁控濺射的電致變色薄膜氧空位過多,對Li+的傳輸路徑造成影響,從而降低了氧化鎢薄膜的電致變色性能。