新型電致變色玻璃用鉬摻雜氧化鎢薄膜可以通過直流濺射的方法製備得到。對此，專家表示，氧氬比是磁控濺射過程中的一個非常重要的因素。
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專家解釋到，濺射過程中會向真空反應(yīng)室內(nèi)通入氧氣和氬氣的混合氣體。其中，氧氣作為反應(yīng)氣體，氬氣作為工作氣體。當氬離子把靶材上的原子轟擊出來飛向襯底的過程中，會在真空反應(yīng)室內(nèi)與氧氣反應(yīng)生成新的化合物，沉積到襯底上?；衔锏慕M成成分對電致變色性能影響很大，而決定化合物組成成分的最關(guān)鍵因素是氧氣與氬氣的比例。因此，氧氬比是磁控濺射過程中的一個非常重要的因素。
