大面積摻鉬WO3電致變色玻璃是現(xiàn)代建築節(jié)能的一種新的解決方案。其中，作為重要電致變色層材料的鉬摻雜氧化鎢電致變色薄膜可以通過磁控濺射法製備得到。具體的濺射步驟如下：
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將清洗後的FTO導電玻璃導電面朝上置於樣品盤上，用3M膠帶固定。將載有FTO導電玻璃的樣品盤連同靶材一齊放入真空反應室，然後開始濺射。首先在大氣狀態(tài)下把濺射室抽真空，使濺射室內真空度達到10^-1Pa。往濺射室內充入氣體，Ar2為工作氣體，O2作為反應氣體，並通過氣體流量調節(jié)旋鈕調節(jié)進氣量至所需值。先用純氬氣預濺射10min，以除去靶材表面的污染物，預濺射結束後開始正式濺射。通過直流濺射的方法製備氧化鎢電致變色薄膜。其中，濺射過程的參數(shù)：濺射靶材為鉬摻雜氧化鎢靶材；襯底為FTO導電玻璃；工作氣體採用Ar2；Ar2氣體流量為70sccm；反應氣體採用O2；O2氣體流量為1-4sccm；基底溫度為室溫；濺射氣體壓強為2.4Pa；濺射功率為60W；濺射時間為0.5h；工作電壓為300V；工作電流為0.2A。
