三氧化鎢可以用於製備三氧化鎢薄膜，進而用於組裝互補型全固態(tài)電致變色窗。那麼，這充當電致變色層的WO3薄膜該怎麼製備呢？有專家通過電子束蒸發(fā)法製備得到。
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電子束蒸發(fā)技術製備WO3薄膜
分析純WO3粉末壓結成直徑1cm的圓柱，作為蒸發(fā)源置於石墨坩堝內。襯底為方阻200Ω/ITO膜導電玻璃，經10%硫酸浸泡10min後，用去離子水超聲清洗數次，而後吹幹。襯底溫度80℃，蒸發(fā)成膜速率為9nm/min，常規(guī)蒸發(fā)時間15min。剛蒸發(fā)出來的W03薄膜呈藍色。
