三氧化鎢薄膜可以用於組裝全固態(tài)靈巧窗，充當(dāng)電致變色層。有專家對(duì)WO3薄膜的光學(xué)性能進(jìn)行研究，其中，全固態(tài)電致變色窗著色態(tài)和漂白態(tài)的透射光譜曲線如下圖所示，工作電壓為±3.5V。
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專家表示，從圖中可以看出，靈巧窗對(duì)可見(jiàn)光透射率具有一定的調(diào)節(jié)能力，但漂白態(tài)時(shí)的透射率偏低，主要原因是最後一層ITO膜透射率不高。因?yàn)閽?cǎi)用InSn合金靶直流磁控濺射沉積ITO膜時(shí)，為獲得高的透射率和電導(dǎo)率，通常要將沉積的ITO膜進(jìn)行高溫?zé)崽幚怼５?，WO3和NiO膜經(jīng)高溫?zé)崽幚磲?，電致變色性能?huì)受損。因此，在全固態(tài)靈巧窗器件的製備中，最後一層ITO膜未經(jīng)熱處理。此外，目前，有專家已經(jīng)掌握了採(cǎi)用ITO陶瓷靶不需經(jīng)退火處理製備ITO膜的技術(shù)，因此在採(cǎi)用此項(xiàng)新的製備ITO膜的技術(shù)後，有望製備出性能更優(yōu)良的全固態(tài)靈巧窗器件。
