三氧化鎢是近幾年來被廣泛用於製備智慧窗的重要原材料之一。得益於WO3本身所具有的環(huán)保特性和優(yōu)異的光學(xué)性能,該種新型智慧玻璃被越來越廣泛地應(yīng)用於建築和汽車隔熱領(lǐng)域。也因此,不只是WO3薄膜,摻Ti三氧化鎢電致變色薄膜也受到了頗多關(guān)注。
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例如,有專家採用脈衝直流反應(yīng)磁控濺射法在不同氧氣分壓條件下,在FTO透明導(dǎo)電玻璃基底上製備Ti摻雜三氧化鎢電致變色薄膜。專家們發(fā)現(xiàn),氧氣分壓較低時,所製備的薄膜為欠氧狀態(tài)的三斜晶系,增加氧氣轉(zhuǎn)變?yōu)榱⒎骄到Y(jié)構(gòu)。隨著氧氣分壓增大,薄膜結(jié)晶程度增加,薄膜表面顆粒由片狀逐漸凸起,顆粒尺寸減小,表面粗糙度減小,薄膜緻密性增加;同時薄膜由淡藍(lán)色變?yōu)榈S色,透過率增加,光學(xué)帶隙逐漸減小。