說(shuō)起電致變色，很多人會(huì)想到WO3薄膜，也肯定有不少人會(huì)聯(lián)想到摻Ti三氧化鎢薄膜。例如，想起了有專家製備了Ti摻雜WO3薄膜，為了研究不同氧氣分壓對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)性能影響。具體的製備步驟如下：
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
使用鎢鈦合金（含鈦品質(zhì)分?jǐn)?shù)6%）作為靶材，在FTO透明導(dǎo)電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基底上通過(guò)脈衝直流電源反應(yīng)濺射沉積了Ti摻雜WO3薄膜。濺射前本底真空抽至低於4.5*10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應(yīng)氣體，基片溫度350℃，固定工作氣壓1.7Pa，通過(guò)改變通入O2流量7sccm、9sccm、13sccm、15sccm，沉積了不同氧氣分壓Ti摻雜WO3薄膜。因?yàn)楣ぷ鳉鈮汗潭ú蛔?，?dāng)O2流量增大，Ar分壓下降，單位時(shí)間內(nèi)轟擊靶材表面的Ar+數(shù)量減少，濺射出的W原子減少，導(dǎo)致沉積速率下降。
