WO3薄膜是一種電致變色薄膜。據(jù)報(bào)導(dǎo)，有專家為了研究薄膜厚度對(duì)結(jié)構(gòu)、電致變色性能的影響，使用純度為99.95%的金屬鎢作為靶材，在FTO透明導(dǎo)電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基片上使用鍍膜機(jī)通過(guò)脈衝直流電源反應(yīng)磁控濺射沉積三氧化鎢薄膜。
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
其中，F(xiàn)TO導(dǎo)電玻璃為基片，使用清水吹洗表面灰塵後，使用洗潔精和醋酸清洗基片表面油脂，然後再用去離子水沖洗乾淨(jìng)，最後用高壓乾燥氮?dú)獍鸦砻鏆埩羲执禍Q(jìng)。專家通過(guò)控制基片運(yùn)動(dòng)速率和在陰極下方來(lái)回運(yùn)動(dòng)次數(shù)，製備了50nm、100nm、150nm、200nm、250nm、300nm等不同厚度的氧化鎢薄膜。
