三氧化鎢，作為重要的功能材料，在變色器件、微型感測器、聲表面波器件和微流體器件等研究領(lǐng)域備受關(guān)注。
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專家表示，在結(jié)晶生長優(yōu)化條件下，採用納米技術(shù)和先進的鍍膜技術(shù)製備出性能優(yōu)異的功能薄膜，這對提高器件性能及其應(yīng)用意義重大。例如，有專家採用水熱法在包覆劑調(diào)控生長中得到結(jié)構(gòu)新穎的氧化鎢納米晶。也有專家利用磁控濺射技術(shù)沉積出高品質(zhì)的氧化鎢薄膜，結(jié)合微加工工藝實現(xiàn)了氧化鎢多層膜聲表面波器件的性能優(yōu)化，並將該類聲波器件用於感測器和微流體液滴控制研究。
