貴金屬摻雜氧化鎢,如Pt摻雜氧化鎢、Pd摻雜氧化鎢以及Au摻雜氧化鎢等等,相較於無(wú)摻雜氧化鎢,其對(duì)NO2、CO、H2S、丙酮?dú)怏w等化工場(chǎng)所空氣污染的主要來源的靈敏度都有所提升。
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有專家採(cǎi)用直流濺射法在WO3中分別摻雜Pt、Pd及Au製備氣體感測(cè)器。他們經(jīng)過對(duì)比測(cè)試,結(jié)果表明,Au摻雜WO3薄膜對(duì)NO2的靈敏度由無(wú)摻雜時(shí)的17x10-6提高到69x10-6,而Pd摻雜WO3薄膜對(duì)NO2的靈敏度由無(wú)摻雜時(shí)的17x10-6提高到24x10-6。其中,NO2的最大檢測(cè)靈敏度為200x10-6。也就是說,貴金屬摻雜WO3是一種高效的NO2氣敏材料,在高性能低功耗NO2氣敏感測(cè)器應(yīng)用方面表現(xiàn)出巨大的潛力和良好的前景,可以從一定程度上減輕氮氧化物等大氣污染物對(duì)人類健康和環(huán)境造成的嚴(yán)重威脅。