我國MOCVD設備有望率先告別“進口依賴”？
核心設備及部分原材料依賴進口、外延芯片缺乏核心專利、測試方法及設備支撐不足……一直以來，我國半導體照明產(chǎn)業(yè)與國際先進水平存在諸多差距。而作為LED芯片生產(chǎn)核心設備，MOCVD設備有望率先告別“進口依賴”。
近年來，憑借高效節(jié)能、綠色環(huán)保等特點，LED產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)獲得快速發(fā)展。據(jù)科技部發(fā)布的《半導體照明科技發(fā)展“十二五”專項規(guī)劃》，到2015年，LED產(chǎn)業(yè)規(guī)模預計將達到5000億元。
而作為生產(chǎn)LED芯片的關鍵設備，我國MOCVD設備近年絕大部分依賴進口，市場被歐美企業(yè)壟斷。
數(shù)據(jù)顯示，MOCVD設備采購近兩年出現(xiàn)“瘋狂”增長，2010年前中國大陸MOCVD總裝機量只有150臺左右，2010年年底增至350臺，2011年年底更是達到近700臺。而有統(tǒng)計顯示，截至2012年11月底，國內(nèi)量產(chǎn)MOCVD設備數(shù)量已達到909臺。
專業(yè)研究機構SEMI中國資深分析師兼LED項目經(jīng)理戚發(fā)鑫告訴記者，近兩年中國大陸的MOCVD設備增速已位居全球首位，同時也成為全球兩大MOCVD設備企業(yè)AIXTRON(愛思強)和VEECO(維易科)的最大收入來源。
在業(yè)內(nèi)人士看來，量產(chǎn)型MOCVD依靠進口，嚴重制約著國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)的自主化發(fā)展。據(jù)介紹，一臺進口MOCVD設備的售價目前約為1500萬元左右。
為打破國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)受制于人的局面，科技部發(fā)布的《半導體照明科技發(fā)展“十二五”專項規(guī)劃》明確提出，“十二五”期間將“實現(xiàn)大型MOCVD設備及關鍵配套材料的國產(chǎn)化”。
遵循這一發(fā)展思路，從2011年開始，國內(nèi)包括思捷愛普、理想能源等在內(nèi)的多家LED設備企業(yè)開始嘗試推出國產(chǎn)化MOCVD設備。截至2012年年底，國內(nèi)已有近20家企業(yè)和科研團隊宣布涉足MOCVD設備技術研發(fā)。
業(yè)內(nèi)認為，MOCVD設備國產(chǎn)化成功，意味著長期由國外壟斷的技術將被打破，國內(nèi)眾多LED企業(yè)將告別對國外產(chǎn)品的完全依賴，縮短和世界的差距，國內(nèi)LED自主產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈也將更加完善。
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